增量型光栅尺的工作原理概述

一、栅式测量系统简述
从上个世纪50年代到70年代栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅，这5种测量系统都是将一个栅距周期内的**式测量和周期外的增量式测量结合了起来，测量单位不是像激光一样的是光波波长，而是通用的米制（或英制）标尺。它们有各自的优势，相互补充，在竞争中都得到了发展。由于光栅测量系统的综合技术性能优于其他4种，而且制造费用又比感应同步器、磁栅、球栅低，因此光栅发展得*快，技术性能*高，市场占有率*高，产业*大。光栅在栅式测量系统中的占有率已超过80%，光栅长度测量系统的分辨力已覆盖微米级、亚微米级和纳米级，测量速度从60m/min，到480m/min。测量长度从1m、3m达到30m和100m。
二、光栅测量技术发展的回顾
计量光栅技术的基础是莫尔条纹（Moire fringes），1874年由英国物理学家L.Rayleigh首先提出这种图案的工程价值，直到20世纪50年代人们才开始利用光栅的莫尔条纹进行精密测量。1950年德国Heidenhain开创DIADUR复制工艺，也就是在玻璃基板上蒸发镀铬的光刻复制工艺，这才能制造高精度、价廉的光栅刻度尺，光栅计量仪器才能为用户所接受，进入商品市场。1953年英国Ferranti公司提出了一个4相信号系统，可以在一个莫尔条纹周期实现4倍频细分，并能鉴别移动方向，这就是4倍频鉴相技术，是光栅测量系统的基础，并一直广泛应用至今。
德国Heidenhain公司1961年开始开发光栅尺和圆栅编码器，并制造出栅距为4μm（250线/mm）的光栅尺和10000线/转的圆光栅测量系统，能实现1微米和1角秒的测量分辨力。1966年制造出了栅距为20μm（50线/mm）的封闭式直线光栅编码器。在80年代又推出AURODUR工艺，是在钢基材料上制作高反射率的金属线纹反射光栅。并在光栅一个参考标记（零位）的基础上增加了距离编码。在1987年又提出一种新的干涉原理，采用衍射光栅实现纳米级的测量，并允许较宽松的安装。1997年推出用于**编码器的EnDat双向串行快速连续接口，使**编码器和增量编码器一样很方便的应用于测量系统。现在光栅测量系统已十分完善，应用的领域很广泛，全世界光栅直线传感器的年产量在60万件左右，其中封闭式光栅尺约占85%，开启式光栅尺约占15%。在Heidenhain公司的产品销售额中大约直线光栅编码器占40%，圆光栅编码器占30%，数显、数控及倍频器占30%。Heidenhain公司总部的年销售额约为7亿欧元（不含Heidenhain跨国公司所属的40家企业）。国外企业的人均产值在10~15万美元左右，研究开发人员约占雇员的10%，产品研发经费约占销售额的15%。
三、当今采用的光电扫描原理及其产品系列
光栅根据形成莫尔条纹的原理不同分为几何光栅（幅值光栅）和衍射光栅（相位光栅），又可根据光路的不同分为透射光栅和反射光栅。光米级和亚微米级的光栅测量是采用几何光栅，光栅栅距为100μm至20μm远于光源光波波长，衍射现象可以忽略，当两块光栅相对移动时产生低频拍现象形成莫尔条纹，其测量原理称影像原理。纳米级的光栅测量是采用衍射光栅，光栅栅距是8μm或4μm，栅线的宽度与光的波长很接近，则产生衍射和干涉现象形成莫尔条纹，其测量原理称干涉原理。现将Heidenhain产品采用的3种测量原理介绍如下。
1.具有四场扫描的影像测量原理（透射法）
采用垂直入射光学系统均为4相信号系统，是将指示光栅（扫描掩膜）开四个窗口分为4相，每相栅线依次错位四分之一栅距，在接收的4个光电元件上可得到理想的4相信号，这称为具有四场扫描的影像测量原理。Heidenhain的LS系列产品均采用此原理，其栅距为20μm，测量步距为0.5μm，准确度为±10、±5、±3μm三种，*大测量长度3m，载体为玻璃。
2.有准单场扫描的影像测量原理（反射法）
反射标尺光栅是采用40μm栅距的钢带，指示光栅（扫描掩膜）用二个相互交错并有不同衍射性能的相位光栅组成，这样一来，一个扫描场就可以产生相移为四分之一栅距的四个图象，称此原理为准单场扫描的影象测量原理。由于只用一个扫描场，标尺光栅局部的污染使光场强度的变化是均匀的，并对四个光电接收元件的影响是相同的，因此不会影响光栅信号的质量。与此同时，指示光栅和标尺光栅的间隙和间隙公差能大一些。Heidenhain LB和LIDA系列的金属反射光栅就是采用这一原理。LIDA系列开式光栅其栅距为40μm和20μm，测量步距0.1μm，准确度有±5μm、±3μm，测量长度可达30m，*大速度480m/min。LB系列闭式光栅栅距都是40μm，*大速度可达120m/min。
3.单场扫描的干涉测量原理
对于栅距很小的光栅，指示光栅是一个透明的相位光栅，标尺光栅是自身反射的相位光栅，光束是通过双光栅的衍射，在每**的诸光束相互干涉，就形成了莫尔条纹，其中+1和-1级组干涉条纹是基波条纹，基波条纹变化的周期与光栅的栅距是同步对应的。光调制产生3个相位相差120°的测量信号，由3个光电元件接收，随后又转换成通用的相位差90°的正弦信号. Heidenhain LF、LIP、LIF系列光栅尺是按干涉原理工作，其光栅尺的载体有钢板、钢带、玻璃和玻璃陶瓷，这些系列产品都是亚微米和纳米级的，其中*小分辨力达到1纳米。
在80年代后期栅距为10μm的透射光栅LID351（分辨力为0.05μm）其间隙要求就比较严格为（0.1±0.015）mm。由于采用了新的干涉测量原理对纳米级的衍射光栅安装公差就放得比较宽，例如指示光栅和标尺光栅之间的间隙和平行度都很宽（表1所示）。只有衍射光栅LIP372的栅距是0.512μm，经光学倍频后信号周期为0.128μm，其他栅距均为8μm和4μm，经光学二倍频后得到的信号周期为4μm和2μm，其分辨力为5nm和50nm，系统准确度为±0.5μm和±1μm，速度为30m/min。LIF系列栅距是8μm，分辨力0.1μm，准确度±1μm，速度为72m/min。其载体为温度系数近于0的玻璃陶瓷或温度系数为8ppm/K的玻璃。衍射光栅LF系列是闭式光栅尺，其栅距为8μm，信号周期为4μm，测量分辨力0.1μm，系统准确度±3μm和±2μm，*大速度60m/min，测量长度达到3m，载体采用钢尺和钢膨胀系数（10ppm/K）一样的玻璃。
四、光栅测量系统的几个关键问题
1.测量准确度（精度）
光栅线位移传感器的测量准确度，首先取决于标尺光栅刻线划分度的质量和指示光栅扫描的质量（栅线边沿清晰至关重要），其次才是信号处理电路的质量和指示光栅沿标尺光栅导向的误差。影响光栅尺测量准确度的是在光栅整个测量长度上的位置偏差和光栅一个信号周期内的位置偏差。
光栅尺的准确度（精度）用准确度等级表示，Heidenhain定义为：在任意1m测量长度区段内建立在平均值基础上的位置偏差的*大值Fmax均落在±α（μm）之内，则±α为准确度等级。Heidenhain准确度等级划分为：±0.1、±0.2、±0.5、±1、±2、±3、±5、±10和±15μm。由此可见Heidenhain光栅尺的准确度等级和测量长度无关，这是很高的一个要求，现在还没有见到其他生产厂家能够达到这一水平。
现在Heidenhain玻璃透射光栅和金属反射光栅的栅距只采用20μm和40μm，对衍射光栅栅距采用4μm和8μm，（1nm光栅除外）光学二倍频后信号周期为2μm和4μm。Heidenhain要求开式光栅一个信号周期的位置偏差仅为±1%，闭式光栅仅为±2%，光栅信号周期及位置偏差见表2。
表2
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光栅类别信号周期（μm）一个信号周期内的位置偏差（μm）
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几何光栅 20和40 开启式光栅尺±1%，即±0.2~±0.4
封闭式光栅尺±2%，即±0.4~±0.8
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衍射光栅 2和4 开启式光栅尺±1%，即±0.02~±0.04
封闭式光栅尺±2%，即±0.02~±0.08
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2.信号的处理及栅距的细分
光栅的测量是将一个周期内的**式测量和周期外的增量式测量结合在一起，也就是说在栅距的一个周期内将栅距细分后进行**的测量，超过周期的量程则用连续的增量式测量。为了保证测量的精度，除了对光栅的刻划质量和运动精度有要求外，还必须对光栅的莫尔条纹信号的质量有要求，因为这影响电子细分的精度，也就是影响光栅测量信号的细分数（倍频数）和测量分辨力（测量步距）。栅距的细分数和准确性也影响光栅测量系统的准确度和测量步距。对莫尔条纹信号质量的要求主要是信号的正弦性和正交性要好；信号直流电平漂移要小。对读数头中的光电转换电路和后续的数字化插补电路要求频率特性好，才能保证测量速度大。
Heidenhain有专门为光栅传感器和CNC相联结设计了光栅倍频器，也就是将光栅传感器输出的正弦信号（一个周期是一个栅距）进行插补和数字化处理后给出相位相差90°的方波，其细分数（倍频数）有5、10、25、50、100、200和400，再考虑到数控系统的4倍频后对栅距的细分数有20、40、100、200、400、800和1600，能实现测量步距从1nm到5μm，倍频数选择取决于光栅信号一个栅距周期的质量。随着倍频数的增加光栅传感器的输出频率要下降，倍频器的倍频细分数和输入频率的关系见表3。
表3
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倍频细分数 0 2 10 25 50 100 200 400
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输入频率kHz 600 500 200 100 50 25 12.5 6.25
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选择不同的倍频数可以得到不同的测量步距。在Heidenhain的数显表中可以设置15种之多的倍频数，*高频数可达1024，即1、2、4、5、10、20、40、50、64、80、100、128、200、400、1024。在微机上用的数量卡*大倍频数可到4096。
3.光栅的参考标记和**座标
（1）光栅**位置的确立
光栅是增量测量，光栅尺的**位置是利用参考标记（零位）确定。参考标记信号的宽度和光栅一个栅距的信号周期一致，经后续电路处理后参考信号的脉冲宽度和系统一个测量步距一致。为了缩短回零位的距离，Heidenhain设计了在测量全长内按距离编码的参考标记，每当经过两个参考标记后就可以确定光栅尺的**位置，例如栅距为4μm和20μm的光栅尺扫描单元相对于标尺移动20mm后就可确定**位置，栅距为40μm的光栅尺要移动80mm才能确定**位置。
（2）**坐标传感器
为了在任何时刻测量到**位置，Heidenhain设计制造了LC系列**光栅尺，它是用七个增量码道得到**位置，每个码道是不同的，刻线*细码道的栅距有两种，一种是16μm，另一种是20μm，其分辨力都可为0.1μm，准确度±3μm。测量长度可达3m，*大速度120m/min。它所采用的是光电扫描原理和常用的透射光栅一样，是具有四场扫描的影像测量原理。
4.光栅的载体和热性能
光栅尺是在20°±0.1℃环境中制造，光栅的热性能直接影响到测量精度，在使用上光栅尺的热性能*好和测量的对象的热性能一致。考虑到不同的使用环境，Heidenhain光栅尺刻度的载体具有不同的热膨胀系数。现用的材料有玻璃、钢和零膨胀的玻璃陶瓷。普通玻璃的膨胀系数为8ppm/K，钢为10ppm/K，现在Heidenhain已采用了和钢一样膨胀系数的玻璃。这些材料对振动、冲击不敏感，具有确定的热特性，并对气压和湿度的变化也不会有影响。对测量长度在3m以下的光栅尺载体材料都是用玻璃、玻璃陶瓷和钢，超过3m以上则用钢带。通过对标尺载体所用材料和相应结构的选择，使光栅尺与被测对象的热性能有*佳的匹配。

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